تنميش جاف
المحتويات
قبل الخوض في التفاصيل، التنميش الجاف (dry etching) يقصد به إزلة المادة وعادة يكون الغطاء مادة شبه موصلة. وفيما يلي تفاصيل أوسع عن ذلك.
وفي السياق ذاته، بتعريض المادة هذه لقصف أيوني (غالبا ماتكون البلازما لتفاعل الغازات مثل فلوروكربونات والأكسجين، الكلور، ثلاثي كلوريد البورن، ويضاف لها أحيانا النيتروجين، الأرجون والهيليوم) حيث تعمل على إزلة أجزاء من على سطح المادة المعرضة للتفاعل، طريقة العمل هذه تختلف عن بعض المواد الكيميائية التي تعمل نتوءات في المادة وتسمى مواد التنميش الرطب.
التفسير
من جانب آخر، التنميش الجاف مفيد للمواد وأشباه الموصلات، حيث لايمكن استخدام الحفر الرطب، مثل كربيد السيلكون ونيتريد الغاليوم.
ومن جهة أخرى، يتزامن تصنيع أشباه الموصلات في حدود مايكرو وإزالة المخلفات العضوية باستخدام بلازما الأكسجين التي توصف أحيانا عملية التنميش الجاف، ويمكن استخدام مصطلح ترميد البلازما.
في هذا الإطار، التنميش الجاف يستعمل صفائح ضوئية معدة تقنيا تتزامن مع الهجوم على مناطق محددة على سطح أشباه الموصلات لتشكل تجاويف في المادة مثل الثقوب المتصلة أو إزلة اجزاء أخرى من على طبقات شبه الموصل وغالبا على الجانبين بشكل عامودي.
تنميش البلازما
التنميش (تصنيع دقيق)
📝 هل في هذه المقالة خطأ؟
إذا وجدت معلومة تحتاج تصحيحاً أو إضافة، أو أردت حذف المقالة، أرسل لنا طلباً وسنراجعه.
ما رأيك في هذه المقالة؟