طلاء ضوئي

بدايةً، طلاء ضوئي أو مقاوم ضوئي هو مادة حساسة للضوء تُستعمل في الكثير من العمليات، مثل الطباعة الضوئية والنقش الضوئي، لتشكيل طبقة منقوشة على السطح. هذه العملية بالغة الأهمية وهي عصب صناعة الإلكترونيات الدقيقة. وتعرض الأقسام التالية جوانب أخرى من الموضوع.

من جهة ثانية، تبدأ العملية بتغطية الركيزة (substrate) بمادة عضوية حساسة للضوء. يتم فيما بعد وضع قالب ضوئي فوق السطح لمنع الضوء من الوصول لبعض الأماكن حسب تصميم القالب، بحيث تتعرض فقط المناطق «غير المحمية» من القالب للضوء. يتم لاحقًا إضافة المذيب (يُسمى كذلك بالمطور) للسطح. في حالة وجود «مقاوم ضوئي إيجابي»، تتحلل المادة الحساسة للضوء وسيقوم المذيب بإذابة المناطق التي تعرضت للضوء، تاركًا وراءه طبقة حيث تم وضع القالب الضوئي. في حالة وجود مادة «مقاوم ضوئي سلبي»، يتم تقوية المادة الحساسة للضوء (إما عن طريق التبلمر أو الترابط المتبادل) بواسطة الضوء، وسوف يقوم المطور بإذابة المناطق التي لم تتعرض للضوء فقط، تاركًا وراءه طبقة في المناطق التي لم يتم وضع القناع عليها.

ومن ناحية أخرى، يمكن إضافة طلاء مضاد للانعكاس في الأسفل قبل إضافة المقاوم الضوئي، لتجنب حدوث الانعكاسات تحت المقاوم الضوئي وتحسين أداء المقاوم في احجام أشباه الموصلات الأصغر.

إضافةً إلى ذلك، تتكون المقاومات الضوئية التقليدية عادة من 3 مكونات: الراتنج (مادة رابطة توفر خصائص فيزيائية مثل الالتصاق والمقاومة الكيميائية وما إلى ذلك)، والمُحسِّس (الذي يحتوي على مركب حساس للضوء)، والمذيب (الذي يحافظ على سائل المقاوم).